欢迎光临,深圳市伟铭工业科技有限公司官网!
 网站地图   |    企业邮箱

伟铭工业 | 专业X射线检测方案提供商

Xray检测设备    X-ray智能点料机    智能料仓

伟铭工业XRAY检测设备
搜索
图片展示

能不能用x射线做光刻机?

发表时间: 2020-09-01 17:13:56

作者: yswyx

来源: 网络整理

浏览:

X射线因为波长很短,所以几乎没有衍射效应,所以很早就进入了光刻技术研发的视野内,并且在八十年代就有了X射线光刻。九十年代,IBM在美国佛蒙特州建了一条采用同步辐射光源的X射线光刻机为主力的高频IC生产线,美国军方为主要客户。而当年X射线光刻技术,是当时的下一代光刻技术的强有力竞争者。后来随着准分子激光和GaF透镜技术的成熟,深紫外光刻技术延续了下去,在分辨率和经济性上都打败了X射线光刻。X射线光刻

    X射线因为波长很短,所以几乎没有衍射效应,所以很早就进入了光刻技术研发的视野内,并且在八十年代就有了X射线光刻。九十年代,IBM在美国佛蒙特州建了一条采用同步辐射光源的X射线光刻机为主力的高频IC生产线,美国军方为主要客户。而当年X射线光刻技术,是当时的下一代光刻技术的强有力竞争者。后来随着准分子激光和GaF透镜技术的成熟,深紫外光刻技术延续了下去,在分辨率和经济性上都打败了X射线光刻。X射线光刻就退出了主流光刻技术的竞争。


    现在用X射线光刻的,主要是LIGA技术,用来制造高深宽比结构的一种技术,可以制造出100:1的深宽比,应用于mems技术当中。


    目前国内有两个地方可以做X射线光刻,一个是合肥同步辐射,一个是北京同步辐射。


    由于X射线准直性非常好,传统的X射线光刻,是1:1复制的。掩模版使用的是硅梁支撑的低应力氮化硅薄膜,上面有一层图形化的金,作为掩蔽层。曝光方式采用扫描的方式,效率不高。


    目前最先进的光学光刻是EUV,极紫外光刻。我们也称之为软X射线光刻,既有光学光刻的特征,也有X射线光刻的特征。极紫外波长很短,没有透镜能够放大缩小,所以只能采用凹面镜进行反射式缩放。而掩模版也采用反射式,曝光方式也是扫描,整个系统在真空下运行。



能不能用x射线做光刻机?
X射线因为波长很短,所以几乎没有衍射效应,所以很早就进入了光刻技术研发的视野内,并且在八十年代就有了X射线光刻。九十年代,IBM在美国佛蒙特州建了一条采用同步辐射光源的X射线光刻机为主力的高频IC生产线,美国军方为主要客户。而当年X射线光刻技术,是当时的下一代光刻技术的强有力竞争者。后来随着准分子激光和GaF透镜技术的成熟,深紫外光刻技术延续了下去,在分辨率和经济性上都打败了X射线光刻。X射线光刻
长按图片保存/分享
0
产品中心
分类标题
关于伟铭
分类标题
新闻资讯
分类标题
售后服务
分类标题
联系电话

电 话 / 微信:183 0666 8770
联系人:刘 生

邮 箱: sales10@well-man.com

扫码联系

联系伟铭
Copyright © 2019 深圳市伟铭工业科技有限公司 All Rights Reserved   粤ICP备2021084380号 

添加微信好友,详细了解产品
使用企业微信
“扫一扫”加入群聊
复制成功
添加微信好友,详细了解产品
我知道了